УСТРОЙСТВО ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МДП-СТРУКТУРЫ С КОМПЕНСАЦИЕЙ
ВЛИЯНИЯ ЕМКОСТИ ДИЭЛЕКТРИКА

Чайковский Виктор Михайлович, кандидат технических наук, доцент, кафедра радиотехники
и радиоэлектронных систем, Пензенский государственный университет,radiolokaci@yandex.ru

 621.317.733.011.4

Предлагается подход к измерению параметров МДП-структур, обладающий улучшенными метрологическими характеристиками и осуществляющий измерение с компенсацией влияния емкости диэлектрика. Подход основан на выделении тока, протекающего через исследуемую структуру.

Ключевые слова

МДП (металл–диэлектрик–полупроводник), измерительный сигнал, компенсация влияния, выделение тока, текущего через структуру, итерация, структурный метод коррекции.

 Скачать статью в формате PDF

1. Чайковский, В. М. Измерители параметров МДП-структур на несинусоидальном токе :дис... канд. техн. наук / Чайковский В. М. – Пенза, 1996. – 255 с.
2. Боровских, Л. П. Исследование методов и средств преобразования параметров объектов, представляемых многоэлементными двухполюсниками : автореф. дис... канд. техн.наук / Боровских Л. П. – М. : Ин-т проблем управления, 1980. – 22 с.
3. Волгин, Л. И. Линейные электрические преобразователи для измерительных приборов и систем / Л.И. Волгин. – М. : Сов. Радио, 1971. – 240 с.
4. Зи, С. М. Физика полупроводниковых приборов / С. М. Зи. – М. : Энергия, 1973. – 612 с.